Aln melegítők

A Semicorex ALN fűtőkészülékek a félvezető számára egy olyan eszköz, amelyet félvezető anyagok fűtésére használnak. Főleg azalumínium -nitrid kerámiaAz anyag, kiváló hővezető képességgel és magas hőmérsékleti ellenállással rendelkezik, és magas hőmérsékleten stabilan működhet. A fűtés általában egy ellenállás huzalt használ fűtési elemként. Az ellenállás huzal felmelegedésének felmelegedésével a hőt a fűtőkészülék felületére továbbítják, hogy elérjék a félvezető anyag fűtését. Az ALN félvezető fűtők fontos szerepet játszanak a félvezető gyártási folyamatában, és felhasználhatók olyan folyamatokban, mint a kristálynövekedés, az izzítás és a sütés.

A félvezető gyártás elülső részén (FEOL) különféle folyamatkezeléseket kell végezni az ostyán, különös tekintettel az ostyára egy bizonyos hőmérsékletre, és szigorú követelmények vannak, mivel a hőmérséklet egységessége nagyon fontos hatással van a termék hozamára; Ugyanakkor a félvezető berendezéseknek olyan környezetben is működniük kell, ahol vákuum, plazma és kémiai gázok léteznek, ami kerámia fűtőberendezések (kerámia fűtés) használatát igényli. A kerámia fűtőberendezések a félvezető vékonyréteg -lerakódási berendezések fontos alkotóelemei. Ezeket a folyamatkamrában használják, és közvetlenül érintkezzenek az ostyával, hogy hordozzák, és lehetővé tegyék az ostya számára, hogy stabil és egységes folyamat hőmérsékletet kapjon, és reagáljon és vékony fóliákat generáljon a ostya felületén, nagy pontossággal.

A kerámia fűtőberendezések vékony film lerakódási berendezései általában kerámia anyagokat használnakalumínium -nitrid (ALN)A magas hőmérséklet miatt. Az alumínium -nitrid elektromos szigeteléssel és kiváló hővezető képességgel rendelkezik; Ezenkívül hőtágulási együtthatója közel áll a szilíciumhoz, és kiváló plazmamenességgel rendelkezik, így nagyon alkalmas félvezető eszköz összetevőjeként történő felhasználásra.

Az ALN fűtőberendezések tartalmaznak egy kerámia alapot, amely hordozza az ostyát, és egy hengeres tartótestet, amely a hátul támogatja. A kerámia alap felületén vagy a felszínén, a fűtéshez szükséges ellenállás elemen (fűtési réteg) mellett van egy RF elektróda (RF réteg). A gyors fűtés és hűtés elérése érdekében a kerámia alap vastagságának vékonynak kell lennie, de a túl vékonynak is csökkenti a merevséget. Az ALN fűtőkészülékek támogató testülete általában olyan anyagból készül, amelynek hőtágulási együtthatója hasonló az alaphoz, tehát a tartótest gyakran alumínium -nitridből is készül. Az ALN fűtőkészülékek a tengely (tengely) ízületének egyedi szerkezetét fogadják el, hogy megvédjék a csatlakozókat és a vezetékeket a plazma és a korrozív kémiai gázok hatásaitól. Hőátviteli gázbemeneti és kimeneti csövet biztosítanak a tartó testületben a fűtőkészülék egyenletes hőmérsékletének biztosítása érdekében. Az alapot és a tartó testületet kémiailag ragasztják egy kötőréteggel.

Az ellenállás fűtési elemet a fűtőkészülékbe temették el. A vezetőképes pasztával (volfrám, molibdén vagy tantalum) szitanyomással alakítják ki, hogy spirális vagy koncentrikus köráramkör -mintát képezzen. Természetesen fémhuzal, fémháló, fémfólia stb. Szintén is használható. A szitanyomás módszer használatakor két azonos alakú kerámialemez készül, és a vezetőképes pasztát az egyik felületére alkalmazzák. Ezután szinterelt, hogy ellenálló fűtési elemet képezzen, és a másik kerámialemez átfedésben van az ellenálló fűtőelemmel, hogy az alapba temetett ellenállási elem.

Az alumínium -nitrid -kerámia termikus vezetőképességét befolyásoló fő tényezők a rács, az oxigéntartalom, a por tisztaságának, a mikroszerkezet stb. Sűrűségének sűrűsége, amelyek befolyásolják az alumínium -nitrid kerámia termikus vezetőképességét.