Alumínium -nitridfűtés

A Semicorex alumínium-nitridfűtők a legmodernebb kerámia fűtési elemek, amelyeket olyan alkalmazásokra terveztek, amelyek nagy hővezetőképességet, elektromos szigetelést és kivételes tartósságot igényelnek. Az alumínium-nitrid-kerámia alapján ezek a melegítők gyors és egyenletes fűtést biztosítanak, így ideálisak nagy pontosságú környezetekhez, például félvezető feldolgozáshoz, orvosi diagnosztikához és fejlett analitikai műszerekhez.

Az alumínium -nitridfűtők kulcselemei a félvezető vékonyréteg -lerakódási berendezésekben. Ezeket közvetlenül alkalmazzák a folyamatkamrára és közvetlenül érintkezve az ostyával. Nem csak az ostyát hordozzák, hanem biztosítják azt is, hogy az ostya megkapja a 

stabil és egységes folyamat hőmérséklete. Ez a tulajdonság elengedhetetlen az ostya felületén lévő nagy pontosságú reakciókhoz és az egyenletes vékony fóliák előállításához.

Általában az alumínium -nitridfűtők tartalmaznak egy kerámia szubsztrátot, amelynek ostya -terhelő felülete és egy hengeres tartó testület, amely a hátulján támogatja. A fűtési ellenálló fűtési áramkör mellett egy RF elektródot, valamint egy elektrosztatikus Chuck elektródot és más vezetékeket is biztosítanak a kerámia szubsztrát belsejében vagy felületén.

A vékony film lerakódási berendezések általában kerámia anyagokat használnakalumínium -nitrid (ALN)mert magas hőmérsékletű környezetet foglal magában. Az alumínium -nitrid -fűtőkészülékek a félvezető gyártásában részesülnek, elsősorban egyedi fizikai és kémiai tulajdonságaiknak köszönhetően. Az alumínium -nitrid nemcsak magas hővezetőképességgel rendelkezik, és rövid idő alatt elérheti a gyors fűtést és a hűtést, hanem jó elektromos szigeteléssel és mechanikai szilárdsággal is rendelkezik, biztosítva a fűtés stabilitását és megbízhatóságát. Ezenkívül az alumínium -nitrid termikus tágulási együtthatója hasonló a szilíciumhoz, ami elősegíti a termikus stressznek az ostyara gyakorolt ​​hatását és javítja a folyamat hozamát.

Általánosságban elmondható,kerámia fűtőberendezésekelsősorban vékony fóliós lerakódási berendezésekben használják. Mivel magas hőmérsékleti folyamatokat foglal magában, a felhasznált kerámia anyag elsősorban alumínium-nitrid; Az elektrosztatikus chuckokat elsősorban maratási berendezésekhez használják, és a felhasznált kerámia anyag elsősorban alumínium -oxid. A félvezető technológia fejlesztésével átfedés van a kerámia fűtőberendezések és az elektrosztatikus chuckok között. Például a vékony fóliós lerakódási berendezésekben használt kerámia fűtőberendezések elektrosztatikus chuckokkal vannak felszerelve, amelyek kettős funkcióval rendelkeznek a magas hőmérsékletű fűtés és az elektrosztatikus adszorpció. A maratási berendezésekhez használt elektrosztatikus chuckok szintén magas hőmérsékleti folyamatokat tartalmaznak, és a kerámia anyagot alumínium-oxidról alumínium-nitridre kell változtatni.