A Semicorex rézkarctartó tartóját a PSS maratáshoz a legigényesebb epitaxiás berendezésekhez tervezték. Ultratiszta grafit hordozónk ellenáll a kemény környezetnek, a magas hőmérsékletnek és a kemény vegyszeres tisztításnak. A SiC bevonatú hordozó kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal, magas hővezető képességgel rendelkezik, és költséghatékony. Termékeinket széles körben használják számos európai és amerikai piacon, és reméljük, hogy hosszú távú partnerei lehetünk Kínában.
A Semicorexnél kifejezetten az epitaxiális növekedéshez és az ostyakezelési folyamatokhoz szükséges zord környezetekhez terveztük a PSS maratáshoz való rézkarctartó tartót. Ultratiszta grafithordozónk ideális olyan vékonyréteg-lerakódási fázisokhoz, mint a MOCVD, epitaxia szuszceptorok, palacsinta- vagy szatellitplatformok, valamint ostyakezelési folyamatokhoz, például maratáshoz. A SiC bevonatú hordozó nagy hő- és korrózióállósággal, kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal és magas hővezető képességgel rendelkezik. Termékeink költséghatékonyak és jó árelőnyt kínálnak.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni a PSS maratáshoz használt maratási hordozó tartónkról.
A maratási hordozó tartó paraméterei PSS maratáshoz
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A rézkarctartó tartó jellemzői a PSS maratáshoz
- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a termikus profil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját