Szilikon maratólemez PSS maratási alkalmazásokhoz

A Semicorex szilíciummaratási lemezét a PSS maratási alkalmazásokhoz a legigényesebb epitaxiás berendezésekhez tervezték. Ultratiszta grafit hordozónk ellenáll a kemény környezetnek, a magas hőmérsékletnek és a kemény vegyszeres tisztításnak. A SiC bevonatú hordozó kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal, magas hővezető képességgel rendelkezik, és költséghatékony.

A szilícium marólemez paraméterei PSS maratási alkalmazásokhoz

A szilikon maratólemez jellemzői PSS maratási alkalmazásokhoz

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen

Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig

Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.

Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.

Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.

- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése

- Garantálja a termikus profil egyenletességét

- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját