A Semicorex szilikon maratólemeze PSS maratási alkalmazásokhoz egy kiváló minőségű, ultratiszta grafit hordozó, amelyet kifejezetten epitaxiális növekedési és szeletkezelési folyamatokhoz terveztek. Szállítónk ellenáll a kemény környezetnek, a magas hőmérsékletnek és a kemény vegyszeres tisztításnak. A PSS maratási alkalmazásokhoz készült szilícium marólemez kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal, magas hővezető képességgel rendelkezik, és költséghatékony. Termékeinket széles körben használják számos európai és amerikai piacon, és reméljük, hogy hosszú távú partnerei lehetünk Kínában.
A Semicorex szilíciummaratási lemezét PSS maratási alkalmazásokhoz a legigényesebb epitaxiás berendezésekhez tervezték. Ultratiszta grafit hordozónk ellenáll a kemény környezetnek, a magas hőmérsékletnek és a kemény vegyszeres tisztításnak. A SiC bevonatú hordozó kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal, magas hővezető képességgel rendelkezik, és költséghatékony.
A szilícium maratólemez paraméterei PSS maratási alkalmazásokhoz
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A szilikon maratólemez jellemzői PSS maratási alkalmazásokhoz
- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Magas hőmérsékleten 1600°C-ig stabil
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a termikus profil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját