A Semicorex PSS rézkarctartó hordozótálcáját ostyafeldolgozáshoz kifejezetten az igényes epitaxiás berendezésekhez tervezték. Ultratiszta grafithordozónk ideális olyan vékonyréteg-lerakódási fázisokhoz, mint a MOCVD, epitaxia szuszceptorok, palacsinta- vagy szatellitplatformok, valamint ostyakezelési folyamatokhoz, például maratáshoz. A PSS rézkarctartó tálca ostyafeldolgozáshoz magas hő- és korrózióállósággal, kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal és magas hővezető képességgel rendelkezik. Termékeink költséghatékonyak és jó árelőnnyel rendelkeznek. Számos európai és amerikai piacot szolgálunk ki, és alig várjuk, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.
A Semicorex PSS rézkarctartó tálcáját ostyafeldolgozáshoz az epitaxiális növekedéshez és az ostyakezelési folyamatokhoz szükséges zord környezetekhez tervezték. Ultratiszta grafit hordozónkat úgy tervezték, hogy támogassa az ostyákat vékonyréteg-lerakódási fázisok során, mint például a MOCVD és az epitaxiás szuszceptorok, palacsinta vagy műholdas platformok. A SiC bevonatú hordozó nagy hő- és korrózióállósággal, kiváló hőeloszlási tulajdonságokkal és magas hővezető képességgel rendelkezik. Termékeink költséghatékonyak és jó árelőnyt kínálnak.
A PSS maratási hordozótálca paraméterei ostyafeldolgozáshoz
|
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
|
SiC-CVD tulajdonságai |
||
|
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
|
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
|
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
|
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
|
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
|
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
|
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
|
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A PSS rézkarctartó hordozótálca jellemzői ostyafeldolgozáshoz
- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a hőprofil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját






