itthon > Termékek > Szilícium-karbid bevonatú > PSS rézkarc hordozó > SiC bevonatú PSS maratási hordozó
SiC bevonatú PSS maratási hordozó

SiC bevonatú PSS maratási hordozó

Az epixiális növesztéshez és ostyakezeléshez használt ostyahordozóknak el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex SiC bevonatú PSS maratási hordozó kifejezetten ezekhez az igényes epitaxiás berendezésekhez készült. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex nem csak a vékonyréteg-leválasztási fázisokhoz, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatokhoz, mint például a maratáshoz szállít ultratiszta SiC bevonatú PSS maratási hordozót az ostyák alátámasztására. Plazmamarásnál vagy szárazmarásnál ezt a berendezést, epitaxia szuszceptorokat, palacsintát vagy szatellit platformokat a MOCVD-hez először a lerakódási környezetnek vetik alá, így nagy hő- és korrózióállósággal rendelkezik. A SiC bevonatú PSS maratási hordozó magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

SiC bevonatú PSS (patterned Sapphire Substrate) maratási hordozókat használnak a LED-es (Light Emitting Diode) eszközök gyártása során. A PSS maratási hordozó szubsztrátként szolgál a LED szerkezetét alkotó vékony gallium-nitrid (GaN) film növekedéséhez. A PSS maratási hordozót ezután nedves maratási eljárással eltávolítják a LED szerkezetéről, és egy mintás felületet hagynak maga után, amely javítja a LED fényelvonási hatékonyságát.


A SiC bevonatú PSS maratási hordozó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi

SiC-CVD tulajdonságai

Kristályos szerkezet

FCC β fázis

Sűrűség

g/cm³

3.21

Keménység

Vickers keménység

2500

Szemcseméret

μm

2~10

Kémiai tisztaság

%

99.99995

Hőkapacitás

J·kg-1 ·K-1

640

Szublimációs hőmérséklet

2700

Felexurális Erő

MPa (RT 4 pontos)

415

Young's Modulus

Gpa (4 pt kanyar, 1300º)

430

Hőtágulás (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Hővezető

(W/mK)

300


A nagy tisztaságú SiC bevonatú PSS maratási hordozó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.





Hot Tags: SiC bevonatú PSS maratási hordozó, Kína, gyártók, beszállítók, gyári, testreszabott, tömeges, fejlett, tartós

Kapcsolódó kategória

Kérdés küldése

Kérdését az alábbi űrlapon adja meg. 24 órán belül válaszolunk.