SiC bevonatú PSS maratási hordozó

Az epixiális növesztéshez és ostyakezeléshez használt ostyahordozóknak el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex SiC bevonatú PSS maratási hordozó kifejezetten ezekhez az igényes epitaxiás berendezésekhez készült. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex nem csak a vékonyréteg-leválasztási fázisokhoz, például az epitaxiához vagy a MOCVD-hez, vagy az ostyakezelési feldolgozáshoz, például a maratáshoz szállít ultratiszta SiC bevonatú PSS maratási hordozót az ostyák alátámasztására. Plazmamarásnál vagy szárazmarásnál ezt a berendezést, epitaxia szuszceptorokat, palacsintát vagy szatellit platformokat a MOCVD-hez először a lerakódási környezetnek vetik alá, így magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik. A SiC bevonatú PSS maratási hordozó magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

SiC bevonatú PSS (Patterned Sapphire Substrate) maratási hordozókat használnak a LED-es (Light Emitting Diode) eszközök gyártása során. A PSS maratási hordozó szubsztrátként szolgál a LED szerkezetét alkotó vékony gallium-nitrid (GaN) film növekedéséhez. A PSS maratási hordozót ezután nedves maratási eljárással eltávolítják a LED szerkezetéről, így egy mintás felületet hagynak hátra, amely javítja a LED fényelvonási hatékonyságát.

A SiC bevonatú PSS maratási hordozó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A nagy tisztaságú SiC bevonatú PSS maratási hordozó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.