A SOI, a Silicon-On-Insulator rövidítése, egy speciális hordozóanyagokon alapuló félvezető-gyártási folyamat. Az 1980-as években történt iparosítása óta ez a technológia a fejlett félvezetőgyártási folyamatok fontos ágává vált. Egyedülálló háromrétegű kompozit szerkezete révén a SOI-eljárás jelentős......
Olvass továbbAz elektrosztatikus tokmány több funkciót is ellát, mint például az egyenletes elektrosztatikus kisülés, a hővezetés és a lapka adszorpciója és rögzítése a félvezetőgyártás területén. Az ESC egyik alapvető funkciója az ostyák stabil adszorbeálása extrém működési körülmények között, mint például nagy......
Olvass továbbAz ultranagy tisztaságú ostyák gyártása során az ostyáknak el kell érniük a 99,999999999% feletti tisztasági szabványt, hogy biztosítsák a félvezetők alapvető tulajdonságait. Paradox módon az integrált áramkörök funkcionális felépítéséhez a specifikus szennyeződéseket lokálisan kell bejuttatni az os......
Olvass továbbA kerámia vákuumtokmányok porózus kerámia anyagokból készülnek, egyenletes pórusméret-eloszlással és belső összekapcsolással. Köszörülés után a felület sima és finom, jó sima. Széles körben használják félvezető lapkák, például szilícium, zafír és gallium-arzenid gyártásában.
Olvass továbbAz ostya kiválasztása jelentős hatással van a félvezető eszközök fejlesztésére és gyártására. Az ostya kiválasztását az adott alkalmazási forgatókönyvek követelményei alapján kell végezni, és gondosan ki kell értékelni a következő kulcsfontosságú mérőszámok segítségével.
Olvass továbbA száraz marató berendezés nem használ nedves vegyszereket a maratáshoz. Elsősorban egy gáznemű maratószert vezet be a kamrába egy felső elektródán keresztül, apró átmenő lyukakkal. A felső és alsó elektródák által keltett elektromos tér ionizálja a gáznemű maratóanyagot, amely ezután reakcióba lép ......
Olvass tovább