A félvezetőgyártás, a modern technológiai fejlődés sarokköve, folyamatosan törekszik a kisebb, gyorsabb és hatékonyabb integrált áramkörökre. Ez a könyörtelen törekvés egyre precízebb és kifinomultabb gyártási folyamatok iránti igényt eredményez, ahol minden lépés nagymértékben függ a nagy teljesítm......
Olvass továbbAz elektrosztatikus tokmányok (ESC) nélkülözhetetlenekké váltak a félvezetőgyártásban és a lapos kijelzők gyártásában, sérülésmentes, jól ellenőrizhető módszert kínálva a kényes lapkák és hordozók megtartására és elhelyezésére a kritikus feldolgozási lépések során. Ez a cikk az ESC technológia bonyo......
Olvass továbbA 3C-SiC, a szilícium-karbid jelentős politípusának kifejlesztése a félvezető anyagtudomány folyamatos fejlődését tükrözi. Az 1980-as években Nishino et al. először egy 4 μm vastag 3C-SiC filmet ért el szilícium hordozón kémiai gőzleválasztással (CVD)[1], megalapozva ezzel a 3C-SiC vékonyréteg-techn......
Olvass tovább