A legtöbb SiC szubsztrátumgyártó manapság olyan tégelyt használ, amely porózus grafithengert tartalmaz a forrómezős folyamathoz. Az eljárás során nagy tisztaságú SiC részecskéket helyeznek el a grafittégely fala és a porózus grafithenger közé, miközben mélyítik a tégelyt és növelik átmérőjét. Ez növeli az alapanyag párolgási területét, miközben növeli a töltet térfogatát is.
Az új eljárás megoldja azokat a kristályhibákat, amelyek a nyersanyag felső részének átkristályosodásából adódnak a forrásanyag felületének növekedésével, ami befolyásolja a szublimált anyag fluxusát. Sőt, az új eljárás csökkenti a nyersanyagterület hőmérséklet-eloszlásának érzékenységét a kristálynövekedésre, stabilizálja az anyagátadás hatékonyságát, csökkenti a szénzárványok hatását a növekedés késői szakaszában, és tovább javítja a SiC kristályok minőségét. Ezenkívül az új eljárás mag nélküli kristálytálcás rögzítési módszert alkalmaz, amely nem tapad a magkristályokhoz, ezáltal felszabadítja a hőtágulást és megkönnyíti a stresszoldást. Ez az új eljárás optimalizálja a termikus mezőt és nagymértékben javítja a tágulás hatékonyságát.
Fontos megjegyezni, hogy az új eljárással nyert SiC egykristályok minősége és hozama nagymértékben függ a tégelyes grafit és a porózus grafit fizikai tulajdonságaitól. A piaci kínálat azonban jelenleg nagyon szűkös a bővülő kereslethez képest.
A porózus grafit főbb jellemzői:
Megfelelő pórusméret-eloszlás;
Megfelelően magas porozitás;
Mechanikus a feldolgozási és felhasználási követelményeknek megfelelően.
A Semicorex személyre szabott, kiváló minőségű porózus grafit termékeket kínál az Ön igényei szerint.
A Semicorex porózus szén egy fejlett, nagy tisztaságú anyag a félvezető feldolgozás során. Ez a kulcsfontosságú berendezés kulcsfontosságú szerepet játszik az egykristályos SiC növekedési folyamatában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex porózus grafit anyagok egykristályos szilícium-karbid növekedési alkalmazásokhoz egy speciális anyag, amelyet a félvezető feldolgozásban használnak. Ez a kulcsfontosságú berendezés kulcsfontosságú szerepet játszik az egykristályos SiC minőségében. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése