A Semicorex RTP Graphite Carrier Plate tökéletes megoldás a félvezető lapkák feldolgozására, beleértve az epitaxiális növekedést és az ostyakezelési feldolgozást. Termékünket úgy tervezték, hogy kiváló hőállóságot és termikus egyenletességet biztosítson, biztosítva, hogy az epitaxia szuszceptorok ki legyenek téve a lerakódási környezetnek, magas hő- és korrózióállósággal.
Termékünk nagy tisztaságú SiC bevonatú grafitot tartalmaz, amely kiváló hőeloszlási tulajdonságokat kínál, így a SiC bevonatú hordozó sima, repedés- és leválásmentes felületet biztosít. Az RTP Graphite Carrier lemezünk finoman szilícium-karbid bevonatú, így a felület sima és hibamentes. Ez a termék rendkívül ellenálló a kemény vegyszeres tisztítással szemben, és úgy tervezték, hogy ne forduljon elő repedések és rétegvesztés.
Olyan árelőnyt kínálunk, amelyet versenytársaink nem tudnak elérni, és elkötelezettek vagyunk amellett, hogy az Ön hosszú távú partnerévé váljunk Kínában.
Az RTP grafit hordozólapunkkal biztos lehet benne, hogy kiváló teljesítményt, kiváló hőállóságot és hőmérsékleti egyenletességet biztosít. A SiC bevonatú hordozót úgy tervezték, hogy ellenálljon a magas hőmérsékletnek, és rendkívül ellenálló a vegyszeres tisztítással szemben, így hosszú éveken át kitart. Termékünket is úgy tervezték, hogy könnyen használható legyen, így új és tapasztalt felhasználók számára egyaránt ideális.
A Semicorexnél elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket és szolgáltatásokat nyújtsunk ügyfeleinknek. Csak a legjobb anyagokat használjuk, termékeinket úgy terveztük, hogy megfeleljenek a legmagasabb minőségi és teljesítménykövetelményeknek. RTP Graphite Carrier lemezünk sem kivétel. Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni arról, hogyan tudunk segíteni a félvezető lapkák feldolgozásával kapcsolatos igényeinek kielégítésében.
Az RTP Graphite Carrier Plate paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
Az RTP Graphite Carrier Plate jellemzői
Nagy tisztaságú SiC bevonatú grafit
Kiváló hőállóság és termikus egyenletesség
Finom SiC kristály bevonattal a sima felületért
Nagy tartósság a vegyszeres tisztítással szemben
Az anyagot úgy tervezték, hogy ne forduljon elő repedések és rétegvesztés.