RTP RTA SiC bevonatú hordozó

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában. Semicorex grafit szuszceptor kifejezetten epitaxiás berendezésekhez, magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik Kínában. Az RTP RTA SiC bevonatos hordozónk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex RTP RTA SiC Coated Carrier-t szállít az ostyák alátámasztására, amely igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz. Az RTP RTA SiC bevonatú hordozó a nagy tisztaságú szilícium-karbiddal (SiC) bevont grafitszerkezettel kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot. A finom SiC kristály bevonat tiszta, sima felületet biztosít, ami kritikus a kezeléshez, mivel az érintetlen ostyák a teljes területükön számos ponton érintkeznek a szuszceptorral.
A Semicorexnél a kiváló minőségű, költséghatékony RTP RTA SiC bevonatos hordozó biztosítására összpontosítunk, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.

Az RTP RTA SiC Coated Carrier paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

Az RTP RTA SiC bevonatú hordozó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.