SiC bevonatú grafit bázisú szuszceptorok MOCVD-hez

A Semicorex SiC bevonatú grafitbázisú szuszceptorok MOCVD-hez kiváló minőségű hordozók, amelyeket a félvezetőiparban használnak. Termékünket kiváló minőségű szilícium-karbiddal tervezték, amely kiváló teljesítményt és hosszú élettartamot biztosít. Ez a hordozó ideális az ostya chipen lévő epitaxiális réteg növelésének folyamatában.

Kérdés küldése

termékleírás

SiC bevonatú grafit bázisú MOCVD szuszceptoraink nagy hő- és korrózióállósággal rendelkeznek, amely még extrém körülmények között is kiváló stabilitást biztosít.
Ennek a SiC bevonatú grafitbázisú szuszceptornak a MOCVD-hez való tulajdonságai kiemelkedőek. Nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonattal készült grafiton, ami rendkívül ellenállóvá teszi a magas hőmérsékleten, akár 1600°C-ig terjedő oxidációt. A gyártás során alkalmazott CVD kémiai gőzleválasztási eljárás nagy tisztaságot és kiváló korrózióállóságot biztosít. A hordozó felülete sűrű, finom részecskékkel, amelyek fokozzák a korrózióállóságát, így ellenállnak a savnak, lúgnak, sóknak és szerves reagenseknek.
SiC bevonatú grafit bázisú MOCVD szuszceptoraink egyenletes hőprofilt biztosítanak, garantálva a legjobb lamináris gázáramlási mintát. Megakadályozza a szennyeződések vagy szennyeződések bediffundálását az ostyába, így ideális tisztatéri környezetben való használatra. A Semicorex a SiC Coated Graphite Susceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában, és termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk a félvezetőiparban.

SiC bevonatú grafitbázisú szuszceptorok paraméterei MOCVD-hez

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A SiC bevonatú grafit szuszceptor jellemzői MOCVD-hez

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Magas hőmérsékleten 1600°C-ig stabil
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a termikus profil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját