SiC bevonatú lemeztartók MOCVD-hez

A Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD egy kiváló minőségű hordozó, amelyet a félvezető gyártási folyamatban való használatra terveztek. Nagy tisztasága, kiváló korrózióállósága és egyenletes termikus profilja kiváló választássá teszik azok számára, akik olyan hordozót keresnek, amely képes ellenállni a félvezető gyártási folyamat követelményeinek.

Kérdés küldése

termékleírás

A MOCVD-hez készült SiC bevonatú lemezhordozóink nagy tisztaságúak, így kiváló választás azok számára, akik nagyon egységes és egységes tulajdonságú hordozót keresnek.
SiC bevonatos lemeztartóink MOCVD-hez nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonattal készültek grafiton, ami rendkívül ellenállóvá teszi a magas hőmérsékleten, akár 1600°C-ig terjedő oxidációt. A gyártás során alkalmazott CVD kémiai gőzleválasztási eljárás nagy tisztaságot és kiváló korrózióállóságot biztosít. Erősen korrózióálló, sűrű felülettel és finom részecskékkel, így ellenáll a savaknak, lúgoknak, sóknak és szerves reagenseknek. Magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállása biztosítja a stabilitást magas hőmérsékleten, akár 1600°C-ig.

SiC bevonatú lemezhordozók paraméterei MOCVD-hez

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A SiC bevonatú grafit szuszceptor jellemzői MOCVD-hez

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a hőprofil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját