Biztos lehet benne, hogy szilícium epitaxiás szuszceptorokat vásárol gyárunkból. A Semicorex Silicon Epitaxy Susceptor egy kiváló minőségű, nagy tisztaságú termék, amelyet a félvezetőiparban használnak az ostya chip epitaxiális növekedésére. Termékünk kiváló bevonattechnológiával rendelkezik, amely biztosítja, hogy a bevonat minden felületen jelen legyen, megakadályozva a leválást. A termék magas hőmérsékleten 1600°C-ig stabil, így extrém körülmények között is használható.
Szilícium epitaxiás szuszceptoraink CVD kémiai gőzleválasztással készültek magas hőmérsékletű klórozási körülmények között, így biztosítva a nagy tisztaságot. A termék felülete sűrű, finom részecskékkel és nagy keménységgel rendelkezik, így korrózióálló savval, lúggal, sóval és szerves reagensekkel szemben.
Termékünket úgy terveztük, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, garantálva a hőprofil egyenletességét. Szilícium epitaxiás szuszceptoraink megakadályozzák a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját az epitaxiális növekedési folyamat során, így biztosítva a kiváló minőségű eredményeket.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. A szilícium epitaxiás szuszceptoraink árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.
A szilícium epitaxiás szuszceptorok paraméterei
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályszerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
A szilícium epitaxiás szuszceptorok paraméterei
- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a hőprofil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját