Egykristály szilícium elektródák

Egykristályos szilícium elektródákjellemzően a maratókamra tetejére vannak felszerelve, amelyek felső elektródaként szolgálnak. Az egykristályos szilícium elektródák felületén egyenletes eloszlású mikrolyukak találhatók, amelyek egyenletesen juttatják a maratógázt a reakciókamrába. A maratási folyamat során az alsó elektródával dolgoznak, hogy egyenletes elektromos mezőt hozzon létre, ami hozzájárul a precíziós maratáshoz ideális működési feltételek biztosításához.

Gondos anyagválasztás

A Semicorex prémium MCZ-n termesztett monokristályos szilíciumot választ az egykristályos szilícium elektródák gyártásához, amely iparágvezető termékteljesítményt és minőséget kínál.

1. Ultra-nagy tisztaságú

A Semicorex egykristályos szilícium elektródák rendkívül nagy tisztaságúak, több mint 99,9999999%, ami azt jelenti, hogy a belső fémszennyeződések tartalma rendkívül alacsony.

2. Kivételes ellenállási egyenletesség

A hagyományos CZ egykristályos szilíciumtól eltérően a Semicorex által használt MCZ-n termesztett monokristályos szilícium 5% alatti ellenállást ér el. Alacsony felbontása. 0,02 Ω·cm alatt van szabályozva, középső felbontás. 0,2 és 25Ω·cm között van, és nagy felbontású. 70-90 Ω·cm között van (kérésre testreszabható).

3. Kiváló anyagszerkezet

Az MCZ módszerrel termesztett egykristályos szilícium stabilabb szerkezetet és kevesebb hibát kínál, így a Semicorex egykristályos szilícium elektródák figyelemre méltó plazmakorrózióállóságot biztosítanak, és ellenállnak a kemény maratási körülményeknek.

---

Magas színvonalú feldolgozási pontosság

Semicorexegykristályos szilíciumAz elektródákat egy teljes gyártási folyamaton keresztül állítják elő a szilícium-ingottól a késztermékig, beleértve a szeletelést, felületcsiszolást, lyukfúrást, nedves maratást és felületi polírozást. A Semicorex minden lépésben szigorú precíziós szabályozást biztosít, hogy biztosítsa az elektródák átmérőjét, vastagságát, felületi síkságát, lyuktávolságát és apertúráját az ideális tűréshatáron belül.

1. Mikrolyuk feldolgozás

Az egykristályos szilícium elektródákon lévő mikrolyukak egyenletes távolsággal és egyenletes átmérővel rendelkeznek (0,2 és 0,8 mm között), sima és sorjamentes belső falakkal. Ez hatékonyan garantálja a maratógáz egyenletes és stabil ellátását, így biztosítva az ostyamarás egyenletességét és pontosságát.

2. A feldolgozás pontossága

A Semicorex egykristályos szilícium elektródák feldolgozási pontossága 0,3 mm-en belül szabályozható, polírozási pontossága szigorúan szabályozható 0,1 µm alatt, a finom csiszolás pedig 1,6 µm alatti.