Szuszceptorok MOCVD reaktorokhoz

A Semicorex Susceptors for MOCVD Reactors kiváló minőségű termékek, amelyeket a félvezetőiparban használnak különféle alkalmazásokhoz, például szilícium-karbid rétegekhez és epitaxiás félvezetőkhöz. Termékünk fogaskerék vagy gyűrű alakban kapható, és magas hőmérsékletű oxidációállóság elérésére tervezték, így akár 1600°C hőmérsékleten is stabil.

Kérdés küldése

termékleírás

A MOCVD reaktorokhoz készült szuszceptoraink CVD kémiai gőzleválasztással készülnek magas hőmérsékletű klórozási körülmények között, biztosítva a nagy tisztaságot. A termék felülete sűrű, finom részecskéket és nagy keménységet tartalmaz, így korrózióálló savval, lúggal, sóval és szerves reagensekkel szemben.
A MOCVD reaktorokhoz készült szuszceptorainkat úgy tervezték, hogy biztosítsák a bevonatot minden felületen, elkerülve a leválást, és a legjobb lamináris gázáramlási mintát érjék el. A termék garantálja a termikus profil egyenletességét, és megakadályozza a szennyeződéseket vagy a szennyeződések szétszóródását a folyamat során, így biztosítva a kiváló minőségű eredményeket.
A Semicorexnél az ügyfelek elégedettségét helyezzük előtérbe, és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.

A MOCVD reaktorok szuszceptorainak paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A SiC bevonatú grafit szuszceptor jellemzői MOCVD-hez

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a termikus profil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját