A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex MOCVD Susceptor TaC bevonattal egy élvonalbeli alkatrész, amelyet aprólékosan kidolgoztak a MOCVD rendszereken belüli félvezető epitaxiás folyamatok optimális teljesítményére. A Semicorex rendületlenül elkötelezett amellett, hogy kiváló termékeket szállítsunk rendkívül versenyképes áron. Szeretnénk tartós partnerséget kialakítani Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD TaC bevonatú gyűrű a félvezető feldolgozás kritikus elemeként uralkodik, jelképezi a modern anyaggyártás csúcspontját. Ez a gyűrű a legszigorúbb környezetekben való megvalósításra készült, ahol a precizitás és a megbízhatóság a legfontosabb, és a legmodernebb bevonási technikák és a rugalmas anyagtudomány ötvözetét testesíti meg. A Semicorex állhatatosan csúcskategóriás termékeket kínál versenyképes áron, és alig várjuk, hogy hosszú távú partnerséget alakítsunk ki Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú planetáris szuszceptor egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet a félvezetőgyártás epitaxiális folyamataiban való használatra terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű termékeket szállítson versenyképes áron. Szeretnénk hosszú távú partnerséget kialakítani Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatvezető gyűrű egy speciálisan a félvezetőipar számára tervezett fejlett komponens, amely döntő szerepet játszik a szilícium-karbid (SiC) kristályok növekedésében. Ezt a terméket úgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezető kristálynövekedési folyamatokban rejlő magas hőmérsékletű és nagy igénybevételű környezet szigorú követelményeinek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatú grafittégely egy speciális alkatrész, amelyet a félvezetőiparban való használatra terveztek, különösen a szilícium-karbid (SiC) kristályok növesztésében. Ez a nagy teljesítményű tégely egyedülálló anyagösszetételének és szerkezeti felépítésének köszönhetően kiemelkedik, így a fejlett kristálynövekedési folyamatok nélkülözhetetlen eszköze. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Tantál Carbide Crucible a félvezetőipar kulcsfontosságú eleme, kifejezetten a szilícium-karbid (SiC) kristályok növekedésére tervezték. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldése