A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A TaC bevonatvezető gyűrűk tantál-karbid bevonatú grafitgyűrűk, amelyeket szilícium-karbid kristálynövesztő kemencékben való használatra terveztek a kristályminőség javítása érdekében. Válassza a Semicorexet a fejlett bevonattechnológiája miatt, amely kiváló tartósságot, hőstabilitást és optimalizált kristálynövekedési teljesítményt biztosít.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid vezetőgyűrű egy tantál-karbiddal bevont grafitgyűrű, amelyet szilícium-karbid kristálynövesztő kemencékben használnak a magkristályok támogatására, a hőmérséklet optimalizálására és a fokozott növekedési stabilitásra. Válassza a Semicorexet fejlett anyagai és kialakítása miatt, amelyek jelentősen javítják a kristálynövekedés hatékonyságát és minőségét.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Tantál Carbide Ring egy tantál-karbiddal bevont grafitgyűrű, amelyet vezetőgyűrűként használnak szilícium-karbid kristálynövesztő kemencékben a hőmérséklet és a gázáramlás pontos szabályozása érdekében. Válassza a Semicorexet fejlett bevonattechnológiája és kiváló minőségű anyagok miatt, amelyek tartós és megbízható alkatrészeket szállítanak, amelyek növelik a kristálynövekedés hatékonyságát és a termék élettartamát.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú ostyatálcát úgy kell megtervezni, hogy ellenálljon a kihívásoknak a reakciókamrán belüli szélsőséges körülmények, beleértve a magas hőmérsékletet és a kémiailag reakcióképes környezeteket.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatlemez nagy teljesítményű komponensként tűnik ki az igényes epitaxiális növekedési folyamatok és további félvezetőgyártási környezetek számára. Kiváló tulajdonságainak sorozatával végső soron növelheti a fejlett félvezető-gyártási folyamatok termelékenységét és költséghatékonyságát.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex LPE SiC-Epi Halfmoon nélkülözhetetlen eszköz az epitaxia világában, robusztus megoldást nyújtva a magas hőmérséklet, a reaktív gázok és a szigorú tisztasági követelmények által támasztott kihívásokra.**
Olvass továbbKérdés küldése