A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex TaC bevonatú grafittokmány egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet precíz ostyakezeléshez és magas hőmérsékletű folyamatokhoz terveztek a félvezetőgyártásban. Válassza a Semicorex-ot innovatív, tartós termékeiért, amelyek optimális teljesítményt és hosszú élettartamot biztosítanak az igényes félvezető alkalmazásokban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC gyűrű egy SiC egykristály növesztésre tervezett nagy teljesítményű alkatrész, amely biztosítja az optimális gázáramlás eloszlását és a hőmérséklet szabályozását. Válassza a Semicorexet a fejlett anyagok és a precíziós tervezés terén szerzett szakértelmünkért, amely tartós és megbízható megoldásokat kínál, amelyek javítják félvezető folyamatainak hatékonyságát és minőségét.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Tantál Carbide Part egy TaC bevonatú grafit alkatrész, amelyet a szilícium-karbid (SiC) kristálynövekedési alkalmazásokban való nagy teljesítményű felhasználásra terveztek, és kiváló hőmérséklet- és vegyszerállóságot kínál. Válassza a Semicorexet a megbízható, kiváló minőségű alkatrészekhez, amelyek javítják a kristályminőséget és a gyártási hatékonyságot a félvezetőgyártásban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Tantál Carbide gyűrűk a fejlett félvezető-gyártási folyamatok kritikus összetevői. A kivételes keménységükről, magas olvadáspontjukról és kémiai tehetetlenségükről ismert Semicorex elkötelezett amellett, hogy a legmagasabb minőségi és teljesítménykövetelményeknek megfelelő termékeket szállítson, biztosítva, hogy ügyfeleink továbbra is a félvezetőipar innovációjának élvonalában maradjanak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor egy tantál-karbiddal bevont grafittálca, amelyet szilícium-karbid epitaxiális növesztésnél használnak az ostya minőségének és teljesítményének javítására. Válassza a Semicorexet a fejlett bevonattechnológiája és a tartós megoldások miatt, amelyek kiváló SiC epitaxiás eredményeket és meghosszabbított szuszceptor élettartamot biztosítanak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA TaC bevonatvezető gyűrűk tantál-karbid bevonatú grafitgyűrűk, amelyeket szilícium-karbid kristálynövesztő kemencékben való használatra terveztek a kristályminőség javítása érdekében. Válassza a Semicorexet a fejlett bevonattechnológiája miatt, amely kiváló tartósságot, hőstabilitást és optimalizált kristálynövekedési teljesítményt biztosít.*
Olvass továbbKérdés küldése