A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex CVD TaC Coating Cover kritikus technológiává vált az epitaxiás reaktorok igényes környezetében, amelyet magas hőmérséklet, reaktív gázok és szigorú tisztasági követelmények jellemeznek, ezért robusztus anyagokra van szükség az egyenletes kristálynövekedés biztosításához és a nem kívánt reakciók megelőzéséhez.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatvezető gyűrű a fém-szerves kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) berendezések legfontosabb részeként szolgál, biztosítva a prekurzor gázok pontos és stabil szállítását az epitaxiális növekedési folyamat során. A TaC bevonatvezető gyűrű olyan tulajdonságok sorozatát képviseli, amelyek ideálissá teszik a MOCVD reaktorkamrában előforduló szélsőséges körülményeknek való ellenálló képességet.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Wafer Chuck az innováció csúcsa a félvezető epitaxia folyamatában, amely a félvezetőgyártás kritikus szakasza. Azzal a elkötelezettségünkkel, hogy kiváló minőségű termékeket kínálunk versenyképes áron, készen állunk arra, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex MOCVD Susceptor TaC bevonattal egy élvonalbeli alkatrész, amelyet aprólékosan kidolgoztak a MOCVD rendszereken belüli félvezető epitaxiás folyamatok optimális teljesítményére. A Semicorex rendületlenül elkötelezett amellett, hogy kiváló termékeket szállítsunk rendkívül versenyképes áron. Szeretnénk tartós partnerséget kialakítani Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD TaC bevonatú gyűrű a félvezető feldolgozás kritikus elemeként uralkodik, jelképezi a modern anyaggyártás csúcspontját. Ez a gyűrű a legszigorúbb környezetekben való megvalósításra készült, ahol a precizitás és a megbízhatóság a legfontosabb, és a legmodernebb bevonási technikák és a rugalmas anyagtudomány ötvözetét testesíti meg. A Semicorex állhatatosan csúcskategóriás termékeket kínál versenyképes áron, és alig várjuk, hogy hosszú távú partnerséget alakítsunk ki Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú planetáris szuszceptor egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet a félvezetőgyártás epitaxiális folyamataiban való használatra terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű termékeket szállítson versenyképes áron. Szeretnénk hosszú távú partnerséget kialakítani Önnel Kínában.*
Olvass továbbKérdés küldése