A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A tömítő alkatrészekre felvitt Semicorex TaC bevonatú tömítőgyűrű kivételes teljesítményelőnyöket biztosít a félvezetőgyártás nehéz környezetében. A TaC bevonat a vegyi ellenállással, a szélsőséges hőmérsékletekkel és a mechanikai kopással kapcsolatos kritikus kihívásokat kezeli, lehetővé téve a nagyobb folyamathozamot, a berendezések megnövekedett üzemidejét és végső soron az alacsonyabb gyártási költségeket. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű TaC bevonatú tömítőgyűrű gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatú szuszceptor kritikus komponens, amely kulcsfontosságú szerepet játszik a félvezető lapkák létrehozásához elengedhetetlen leválasztási folyamatokban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid tokmány a félvezetőgyártó berendezésekben használt fejlett alkatrész, amely kivételes hő- és mechanikai tulajdonságairól híres. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú gyűrű olyan kritikus komponens, amely megfelel ezeknek a szigorú követelményeknek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú zuhanyfej a kémiai gőzleválasztási folyamat szerves része, páratlan teljesítményt és hosszú élettartamot biztosítva. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú tokmány jelentős előrelépést jelent a félvezetőgyártás területén. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldése