Termékek

A SEMICOREX RTP SIC bevonólemezek nagy teljesítményű ostyahordozók, amelyeket a gyors termikus feldolgozási környezet igénylésére terveztek. A vezető félvezető gyártók által megbízható Semicorex kiváló hőstabilitást, tartósságot és szennyeződés -ellenőrzést biztosít, amelyet szigorú minőségi előírások és precíziós gyártás támogat.*

A Semicorex RTP Ring egy SiC bevonatú grafitgyűrű, amelyet a Rapid Thermal Processing (RTP) rendszerekben történő nagy teljesítményű alkalmazásokhoz terveztek. Válassza a Semicorexet fejlett anyagtechnológiánk számára, amely kiemelkedő tartósságot, pontosságot és megbízhatóságot biztosít a félvezetőgyártásban.*

A Semicorex RTP Graphite Carrier Plate tökéletes megoldás a félvezető lapkák feldolgozására, beleértve az epitaxiális növekedést és az ostyakezelési feldolgozást. Termékünket úgy tervezték, hogy kiváló hőállóságot és termikus egyenletességet biztosítson, biztosítva, hogy az epitaxia szuszceptorok ki legyenek téve a lerakódási környezetnek, magas hő- és korrózióállósággal.

A Semicorex RTP SiC Coating Carrier kiváló hőállóságot és termikus egyenletességet kínál, így tökéletes megoldás a félvezető lapkák feldolgozásához. Kiváló minőségű SiC bevonatú grafitjával ezt a terméket úgy tervezték, hogy ellenálljon a legkeményebb lerakódási környezetnek az epitaxiális növekedéshez. A magas hővezető képesség és a kiváló hőeloszlási tulajdonságok megbízható teljesítményt biztosítanak RTA, RTP vagy kemény vegyszeres tisztításhoz.

A Semicorex RTP/RTA SiC bevonathordozót úgy tervezték, hogy ellenálljon a lerakódási környezet legkeményebb körülményeinek. Magas hő- és korrózióállóságának köszönhetően ezt a terméket úgy tervezték, hogy optimális teljesítményt nyújtson az epitaxiális növekedéshez. A SiC bevonatú hordozó nagy hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik, megbízható teljesítményt biztosítva RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.

A Semicorex SiC Graphite RTP hordozólemez a MOCVD-hez kiváló hőállóságot és termikus egyenletességet kínál, így tökéletes megoldást jelent a félvezető lapkák feldolgozásához. A kiváló minőségű SiC bevonatú grafitnak köszönhetően ezt a terméket úgy tervezték, hogy ellenálljon a legkeményebb lerakódási környezetnek az epitaxiális növekedéshez. A magas hővezető képesség és a kiváló hőeloszlási tulajdonságok megbízható teljesítményt biztosítanak RTA, RTP vagy kemény vegyszeres tisztításhoz.