Termékek

A nagy teljesítményű CVD SiC anyagokból készült Semicorex CVD SiC fókuszgyűrű a 2L10-506419-21-hez a döntő gyűrűrész, amelyet kifejezetten a precíziós félvezető maratási folyamatokban használt TEL VIGUS RK4 berendezésekhez terveztek. A Semicorex választása azt jelenti, hogy az ideális CVD SiC megoldásokat kapja a pontos és egyenletes maratási eredmények eléréséhez.

A Semicorex SiC bevonatú planetáris szuszceptorok nagy pontosságú grafit tartóelemek, amelyek sűrű szilícium-karbid bevonattal vannak bevonva, speciálisan a fejlett MOCVD berendezésekhez. Egyenletes gázáramlást és hőeloszlást tesznek lehetővé, így hozzájárulnak az optimális epitaxiális környezet megteremtéséhez.

A Semicorex SiC kerámia ostyahajók nagy teljesítményű szilícium-karbid megoldások, amelyeket úgy terveztek, hogy biztonságosan alátámasszák és szállítsák az ostyákat a legmodernebb félvezetőgyártás során. Ezeknek a kiváló előnyöknek köszönhetően jól alkalmazhatók a precíz, magas hőmérsékletű félvezetőgyártási folyamatokban, mint az oxidációs, diffúziós és CVD eljárások.

A Semicorex SiC bevonatú gázelterelő tárcsák a félvezető epitaxiális berendezésben alkalmazott nélkülözhetetlen grafit alkatrészek, amelyeket kifejezetten a reakciógáz áramlásának szabályozására és a reakciókamrán belüli egyenletes gázeloszlás elősegítésére terveztek. Válassza a Semicorexet, válassza ki az optimális gázelterelési megoldásokat a kiváló minőségű ostya-epitaxiális eredmények érdekében.

A Semicorex SiC Wafer Carrier nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámiából készül, 3D nyomtatási technológiával, ami azt jelenti, hogy rövid időn belül nagy értékű megmunkálási alkatrészeket tud készíteni. A Semicorex a minősített, kiváló minőségű termékeket kínálja globális ügyfeleinek.*

A Semicorex CVD SiC bevonatú felső köszörült gyűrűk az alapvető gyűrű alakú alkatrészek, amelyeket kifejezetten a kifinomult plazmamaratási berendezésekhez terveztek. A félvezető alkatrészek iparágvezető szállítójaként a Semicorex a kiváló minőségű, hosszú élettartamú és ultratiszta CVD SiC bevonatú felső földgyűrűk szállítására összpontosít, hogy segítse értékes ügyfeleinket a működési hatékonyság és az általános termékminőség javításában.