Professzionális gyártóként félvezető alkatrészeket szeretnénk kínálni Önnek. A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezetőgyártást.
A nagy tisztaságú SiC bevonatú alkatrészek döntő fontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk a kristálytermesztési forró zónákhoz való grafit fogyóeszközöktől (fűtőtestek, tégelyszuszceptorok, szigetelések) az ostyafeldolgozó berendezések nagy pontosságú grafitelemeiig terjed, mint például az Epitaxy vagy a MOCVD szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorai.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbiddal (SiC) bevont grafit konstrukciót kínál, amely kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek â
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
End Effector â
Végeffektor a robot keze, amely a félvezető lapkákat mozgatja a lapkafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között.
Bemeneti gyűrűk â
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű â
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Wafer Chuck â
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
Bemutatjuk a kínai szakértői csapatunk által tervezett és gyártott Wafer Transfer Hand-et, ezt a terméket kifejezetten úgy tervezték, hogy biztosítsa az ostyák biztonságos és hatékony átvitelét egyik helyről a másikra anélkül, hogy károsítaná a finom felületet.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex fejlett, nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonatú komponensei úgy készültek, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak az ostyakezelési folyamat során. A Semiconductor Wafer Chuck jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA következő generációs litográfiai és ostyakezelési alkalmazásokhoz tökéletes Semicorex ultratiszta kerámia alkatrészek minimális szennyeződést és kivételesen hosszú élettartamot biztosítanak. A Wafer Vacuum tokmányunk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA félvezető-feldolgozáshoz használt Semicorex tartós fókuszgyűrűket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a félvezető-feldolgozásban használt plazmamaratási kamrák szélsőséges környezeti hatásainak. Fókuszgyűrűink nagy tisztaságú grafitból készülnek, amely sűrű, kopásálló szilícium-karbid (SiC) bevonattal van bevonva. A SiC bevonat magas korrózió- és hőálló tulajdonságokkal, valamint kiváló hővezető képességgel rendelkezik. A SiC-ot vékony rétegekben visszük fel a grafitra kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással, hogy javítsuk fókuszgyűrűink élettartamát.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex plazma-feldolgozó fókuszgyűrűt kifejezetten úgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezetőiparban a plazmamaratási feldolgozás magas követelményeinek. Speciális, nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonatú alkatrészeink úgy készültek, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak, és különféle alkalmazásokban használhatók, beleértve a szilícium-karbid rétegeket és az epitaxiás félvezetőket.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex fejlett, nagy tisztaságú SiC fókuszgyűrűit úgy építették meg, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak a plazmamarás (vagy szárazmarás) kamrákban. A félvezető iparágakra összpontosítunk, például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése