Professzionális gyártóként félvezető alkatrészeket szeretnénk kínálni Önnek. A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC bevonatú alkatrészek döntő fontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk a kristálytermesztési forró zónákhoz való grafit fogyóeszközöktől (fűtőtestek, tégelyszuszceptorok, szigetelések) az ostyafeldolgozó berendezések nagy pontosságú grafitelemeiig terjed, mint például az Epitaxy vagy a MOCVD szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorai.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-leválasztási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) bevonatú grafit konstrukciója kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
End Effector →
Végeffektor a robot keze, amely a félvezető lapkákat mozgatja a lapkafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorex SiC Heating Filament egy szilícium-karbid bevonatú grafit fűtőelem, amelyet korszerű félvezetőgyártásban használt ostyafűtéshez terveztek. A Semicorex kiválasztása azt jelenti, hogy olyan megbízható partnert kell kiválasztani, aki nagy tisztaságú anyagokat, precíz testreszabást és hosszan tartó teljesítményt biztosít a legigényesebb hőkezelési folyamatokhoz.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szilícium-karbid tokmányokat kifejezetten fotolitográfiai berendezésekhez tervezték, és számos előnnyel rendelkeznek, mint például a nagy pontosság, az ultrakönnyű súly, a nagy merevség, az alacsony hőtágulási együttható és a kiváló kopásállóság.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Furnace Tubes nagy tisztaságú szilícium-karbid csövek, amelyeket fejlett 3D nyomtatási technológiával gyártanak, és magas hőmérsékletű fotovoltaikus folyamatokhoz tervezték. A Semicorex csúcstechnológiás SiC megoldásokat kínál kiemelkedő szilárdsággal, stabilitással és megbízhatósággal, amelyben a napenergia-ipar világszerte megbízik.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC lapátok nagy tisztaságú szilícium-karbid konzolos karok, amelyeket 1000 ℃ feletti magas hőmérsékletű oxidációs és diffúziós kemencékben való ostyaszállításra terveztek. A Semicorex választása kivételes anyagminőséget, precíziós tervezést és hosszú távú megbízhatóságot jelent, amelyekben a vezető félvezető gyártók megbíznak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Focus Ring egy nagy tisztaságú szilícium-karbid gyűrűelem, amelyet a plazmaeloszlás és a lapkafolyamatok egyenletességének optimalizálására terveztek a félvezetőgyártásban. A Semicorex választása állandó minőséget, fejlett anyagtervezést és megbízható teljesítményt jelent, amelyekben a világ vezető félvezetőgyárai bíznak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex ostya széle csiszoló Chuck egy nagy tisztaságú, fehér alumínium-oxidból készült kerámia lemez, amelyet a félvezető gyártásában a ostya szélének őrlésére terveztek. A Semicorex kiválasztása biztosítja a kiváló anyagminőséget, a precíziós tervezést és a megbízható teljesítményt, amely támogatja a legigényesebb ostyafeldolgozási környezetet.*
Olvass továbbKérdés küldése