Professzionális gyártóként félvezető alkatrészeket szeretnénk kínálni Önnek. A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezetőgyártást.
A nagy tisztaságú SiC bevonatú alkatrészek döntő fontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk a kristálytermesztési forró zónákhoz való grafit fogyóeszközöktől (fűtőtestek, tégelyszuszceptorok, szigetelések) az ostyafeldolgozó berendezések nagy pontosságú grafitelemeiig terjed, mint például az Epitaxy vagy a MOCVD szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorai.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbiddal (SiC) bevont grafit konstrukciót kínál, amely kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek â
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
End Effector â
Végeffektor a robot keze, amely a félvezető lapkákat mozgatja a lapkafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között.
Bemeneti gyűrűk â
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű â
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Wafer Chuck â
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A diffúziós kemencékhez való Semicorex technológiai cső a félvezető eszközök gyártásához használt speciális alkatrész. Úgy tervezték, hogy szabályozott környezetet biztosítson a diffúziós folyamatokhoz, ahol szennyeződéseket vezetnek be a félvezető lapkákba, hogy módosítsák azok elektromos tulajdonságait. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA SiC Process Tube egy cső alakú reaktor, hőkezelésben ostyafeldolgozáshoz. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD-SiC zuhanyfej tartósságot, kiváló hőkezelést és ellenáll a kémiai lebomlásnak, így megfelelő választás a félvezetőipar igényes CVD-folyamataihoz. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA lapkákon lévő anyagok maratására és kémiai gőzfázisú leválasztására (CVD) szolgáló plazmaberendezésben a technológiai gázokat egy CVD SiC bevonatú grafit zuhanyfejen keresztül vezetik be a folyamatkamrába. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szilícium-karbid konzollapát egy speciális alkatrész, amelyet kemencékben használnak különféle hőfeldolgozási alkalmazásokhoz. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA nagy szelet terhelő erő szilícium-karbid SiC kerámia konzolos lapát alkalmas robot automatikus töltő- és kezelőrendszerhez, mert stabil teljesítménye van, nem deformálódik magas hőmérsékleten és nagy lapátterhelési erővel rendelkezik. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése