A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex SiC Powder, más néven szilícium-karbid por, egy finomra őrölt anyag, amely túlnyomórészt N-típusú α-fázisú szilícium-karbidból áll. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex N-típusú szilícium-karbid por (SiC) egy nagy tisztaságú, adalékolt SiC anyag, amelyet kifejezetten fejlett kristálynövekedési alkalmazásokhoz terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Fine Powder egy kiváló minőségű, ultrafinom por, amely kivételes tisztaságáról és szabályozott részecskeméret-eloszlásáról ismert. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA kivételes tisztaságú szilícium-karbidból készült Semicorex High-Purity SiC Boat kiváló termikus stabilitást, mechanikai robusztusságot és vegyszerállóságot mutat. Ez az anyagválasztás kritikus fontosságú a potenciális szennyeződés csökkentése, a lapkák károsodástól való védelme és a félvezetőgyártás során felmerülő szigorú feltételek elviselése érdekében. A Semicorex elkötelezettsége a piacvezető minőségi termékek gyártása és szállítása iránt, valamint a versenyképes fiskális megfontolások megerősíti azon törekvésünket, hogy partnerkapcsolatokat létesítsünk a félvezető lapkák szállítására vonatkozó követelmények teljesítése érdekében.
Olvass továbbKérdés küldéseA kivételes tisztaságú szilícium-karbidból készült Semicorex SiC Boat for Wafer Handling olyan konstrukcióval büszkélkedhet, amely precíziós nyílásokkal rendelkezik az ostyák rögzítésére, csökkentve a műveletek során bekövetkező mozgásokat. A szilícium-karbid anyagként való megválasztása nemcsak keménységet és rugalmasságot biztosít, hanem azt is, hogy ellenáll a magas hőmérsékletnek és a vegyszereknek való kitettségnek. Emiatt a SiC Boat for Wafer Handling kulcsfontosságú elemévé válik számos félvezető-gyártási szakaszban, mint például a kristályok termesztése, diffúziója, ionbeültetése és maratása.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex PBN/PG fűtőtestek (pirolitikus bór-nitrid/pirolitikus grafit) fejlett bór-nitrid kerámia anyagokból készültek, amelyeket aprólékosan úgy alakítottak ki, hogy ellenálljanak az 1700 °C-ot meghaladó szélsőséges hőmérsékleteknek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése