A SiC bevonat egy vékony réteg a szuszceptorra a kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás révén. A szilícium-karbid anyag számos előnnyel rendelkezik a szilíciummal szemben, beleértve a 10-szeres áttörési elektromos térerőt, a 3-szoros sávközt, amely magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, valamint hővezető képességet biztosít az anyagnak.
A Semicorex személyre szabott szolgáltatást nyújt, segít az innovációban hosszabb élettartamú alkatrészekkel, csökkenti a ciklusidőket és javítja a hozamot.
A SiC bevonat számos egyedi előnnyel rendelkezik
Magas hőmérséklettel szembeni ellenállás: A CVD SiC bevonatú szuszceptor akár 1600 °C-ig is ellenáll a magas hőmérsékletnek anélkül, hogy jelentős hődegradáción menne keresztül.
Vegyi ellenállás: A szilícium-karbid bevonat kiváló ellenállást biztosít számos vegyszerrel szemben, beleértve a savakat, lúgokat és szerves oldószereket.
Kopásállóság: A SiC bevonat kiváló kopásállóságot biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy kopással járó alkalmazásokhoz.
Hővezetőképesség: A CVD SiC bevonat magas hővezető képességet biztosít az anyagnak, így alkalmas magas hőmérsékletű, hatékony hőátadást igénylő alkalmazásokhoz.
Nagy szilárdság és merevség: A szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagy szilárdságot és merevséget biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy mechanikai szilárdságot igénylő alkalmazásokhoz.
A SiC bevonatot különféle alkalmazásokban használják
LED gyártás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort különféle LED-típusok, köztük kék és zöld LED, UV LED és mély-UV LED gyártásánál használják, magas hővezető képessége és vegyszerállósága miatt.
Mobil kommunikáció: A CVD SiC bevonatú szuszceptor a HEMT kulcsfontosságú része a GaN-on-SiC epitaxiális folyamat befejezéséhez.
Félvezető feldolgozás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort a félvezetőiparban használják különféle alkalmazásokhoz, beleértve az ostyafeldolgozást és az epitaxiális növekedést.
SiC bevonatú grafit alkatrészek
Szilícium-karbid bevonat (SiC) grafitból készült, a bevonatot CVD-módszerrel hordják fel bizonyos típusú nagy sűrűségű grafitokra, így a magas hőmérsékletű kemencében 3000 °C felett, inert atmoszférában, 2200 °C-on vákuumban működhet. .
Az anyag különleges tulajdonságai és kis tömege gyors felfűtést, egyenletes hőmérséklet-eloszlást és kiemelkedő vezérlési pontosságot tesz lehetővé.
A Semicorex SiC bevonat anyagadatai
Tipikus tulajdonságok |
Egységek |
Értékek |
Szerkezet |
|
FCC β fázis |
Tájolás |
töredék (%) |
111 előnyben |
Térfogatsűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
Hőtágulás 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
Következtetés A CVD SiC bevonatú szuszceptor egy kompozit anyag, amely egyesíti a szuszceptor és a szilícium-karbid tulajdonságait. Ez az anyag egyedülálló tulajdonságokkal rendelkezik, beleértve a magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, magas hővezető képességet, valamint nagy szilárdságot és merevséget. Ezek a tulajdonságok vonzó anyaggá teszik különféle magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz, beleértve a félvezető-feldolgozást, vegyi feldolgozást, hőkezelést, napelemgyártást és LED-gyártást.
Semicorex második fele alkatrészek az epitaxiális folyamat alsó terelőelemeihez, aprólékosan megtervezett alkatrészek, amelyek célja a félvezető eszközök teljesítményének forradalmasítása. A kifejezetten az LPE reaktorok szívórendszerére szabott félhengeres szerelvények kulcsszerepet játszanak az epitaxiális növekedési folyamat fokozásában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex félalkatrészek SiC epitaxiális berendezésekhez egy fejlett, nagy tisztaságú anyag a félvezető feldolgozásban. Ez a kulcsfontosságú berendezés kulcsfontosságú szerepet játszik a SiC ostya epitaxiás folyamatában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor egy speciális eszköz, amelyet félvezető lapkák kezelésére és feldolgozására használnak. A szuszceptor döntő szerepet játszik a vékony filmek, epitaxiális rétegek és egyéb bevonatok növekedésének elősegítésében a hordozókon, a hőmérséklet és az anyagtulajdonságok pontos szabályozásával. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex palacsinta szuszceptor ostya epitaxiális folyamathoz egy nagy tisztaságú grafit alap, CVD SiC bevonattal. Az ostya epitaxiális eljáráshoz készült palacsintasuszceptorunk jó árelőnnyel rendelkezik, és lefedi a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex kiváló minőségű CVD SiC bevonatú grafit palacsinta szuszceptort biztosít. Évek óta vagyunk grafit anyagok gyártója és szállítója. CVD SiC bevonatú grafit palacsinta szuszceptorunk jó árelőnnyel rendelkezik, és lefedi a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex grafit szuszceptor kifejezetten epitaxiás berendezésekhez, magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik Kínában. GaN-on-SiC szubsztrát szuszceptoraink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése