A SiC bevonat egy vékony réteg a szuszceptorra a kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás révén. A szilícium-karbid anyag számos előnnyel rendelkezik a szilíciummal szemben, beleértve a 10-szeres áttörési elektromos térerőt, a 3-szoros sávközt, amely magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, valamint hővezető képességet biztosít az anyagnak.
A Semicorex személyre szabott szolgáltatást nyújt, segít az innovációban hosszabb élettartamú alkatrészekkel, csökkenti a ciklusidőket és javítja a hozamot.
A SiC bevonat számos egyedi előnnyel rendelkezik
Magas hőmérséklettel szembeni ellenállás: A CVD SiC bevonatú szuszceptor akár 1600 °C-ig is ellenáll a magas hőmérsékletnek anélkül, hogy jelentős hődegradáción menne keresztül.
Vegyi ellenállás: A szilícium-karbid bevonat kiváló ellenállást biztosít számos vegyszerrel szemben, beleértve a savakat, lúgokat és szerves oldószereket.
Kopásállóság: A SiC bevonat kiváló kopásállóságot biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy kopással járó alkalmazásokhoz.
Hővezetőképesség: A CVD SiC bevonat magas hővezető képességet biztosít az anyagnak, így alkalmas magas hőmérsékletű, hatékony hőátadást igénylő alkalmazásokhoz.
Nagy szilárdság és merevség: A szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagy szilárdságot és merevséget biztosít az anyagnak, így alkalmas a nagy mechanikai szilárdságot igénylő alkalmazásokhoz.
A SiC bevonatot különféle alkalmazásokban használják
LED gyártás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort különféle LED-típusok, köztük kék és zöld LED, UV LED és mély-UV LED gyártásánál használják, magas hővezető képessége és vegyszerállósága miatt.
Mobil kommunikáció: A CVD SiC bevonatú szuszceptor a HEMT kulcsfontosságú része a GaN-on-SiC epitaxiális folyamat befejezéséhez.
Félvezető feldolgozás: A CVD SiC bevonatú szuszceptort a félvezetőiparban használják különféle alkalmazásokhoz, beleértve az ostyafeldolgozást és az epitaxiális növekedést.
SiC bevonatú grafit alkatrészek
Szilícium-karbid bevonat (SiC) grafitból készült, a bevonatot CVD-módszerrel hordják fel bizonyos típusú nagy sűrűségű grafitokra, így a magas hőmérsékletű kemencében 3000 °C felett, inert atmoszférában, 2200 °C-on vákuumban működhet. .
Az anyag különleges tulajdonságai és kis tömege gyors felfűtést, egyenletes hőmérséklet-eloszlást és kiemelkedő vezérlési pontosságot tesz lehetővé.
A Semicorex SiC bevonat anyagadatai
|
Tipikus tulajdonságok |
Egységek |
Értékek |
|
Szerkezet |
|
FCC β fázis |
|
Tájolás |
töredék (%) |
111 előnyben |
|
Térfogatsűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
|
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
|
Hőkapacitás |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Hőtágulás 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Young's Modulus |
Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃) |
430 |
|
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
|
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
|
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
|
Hővezetőképesség |
(W/mK) |
300 |
Következtetés A CVD SiC bevonatú szuszceptor egy kompozit anyag, amely egyesíti a szuszceptor és a szilícium-karbid tulajdonságait. Ez az anyag egyedülálló tulajdonságokkal rendelkezik, beleértve a magas hőmérséklet- és vegyszerállóságot, kiváló kopásállóságot, magas hővezető képességet, valamint nagy szilárdságot és merevséget. Ezek a tulajdonságok vonzó anyaggá teszik különféle magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz, beleértve a félvezető-feldolgozást, vegyi feldolgozást, hőkezelést, napelemgyártást és LED-gyártást.
A Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat kritikus alaptechnológiává vált, megingathatatlan platformot biztosítva a magas hőmérsékletű feldolgozáshoz, miközben megőrzi az ostya integritását és biztosítja a nagy teljesítményű eszközökhöz szükséges tisztaságot. A precízióra épülő félvezető- és fotovoltaikus iparra szabták. Az ostyafeldolgozás minden aspektusa, a lerakástól a diffúzióig, aprólékos ellenőrzést és tiszta környezetet igényel. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC kerámia ostyahajó gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC ICP rézkarc nem csupán alkatrészek; ez a legmodernebb félvezetőgyártás alapvető eszköze, mivel a félvezetőipar folytatja a miniatürizálás és a teljesítmény könyörtelen törekvését, a fejlett anyagok, például a szilícium-karbid iránti kereslet csak fokozódni fog. Biztosítja a technológia által vezérelt világunk működéséhez szükséges pontosságot, megbízhatóságot és teljesítményt. Mi a Semicorex-nál elkötelezettek vagyunk a minőséget a költséghatékonysággal ötvöző nagy teljesítményű SiC ICP maratólemez gyártása és szállítása mellett.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc olyan kiterjedt tulajdonságokkal rendelkezik, amelyek nélkülözhetetlen elemévé teszik a félvezetőgyártásban, ahol a berendezések pontossága, tartóssága és robusztussága a legfontosabb a csúcstechnológiás félvezető eszközök sikeréhez. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC bevonatú Epitaxy Disc gyártása és szállítása iránt, amely ötvözi a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Susceptor for ICP Etch gyártása során a magas minőségi és konzisztencia-előírások betartására összpontosítanak. Az ilyen szuszceptorok létrehozásához használt robusztus gyártási folyamatok biztosítják, hogy minden tétel megfeleljen a szigorú teljesítménykritériumoknak, megbízható és konzisztens eredményeket biztosítva a félvezető maratása során. Ezen túlmenően a Semicorex fel van szerelve gyors szállítási ütemezések biztosítására, ami döntő fontosságú a félvezetőipar gyors átállási igényeivel való lépéstartáshoz, biztosítva, hogy a gyártási határidőket a minőség rovására menjen. SiC szuszceptor az ICP Etch-hez, amely egyesíti a minőséget a költséghatékonysággal.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC bevonatú tartógyűrű a félvezető epitaxiális növekedési folyamatban használt alapvető komponens. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC bevonatú gyűrű a félvezető epitaxiális növekedési folyamat kulcsfontosságú eleme, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a modern félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése